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El módulo de HPM-760S es un calibrador excepcionalmente estable, exacto y repetible de la presión absoluta. La señal de salida es un voltaje alto linear o una señal actual conveniente para muchos usos de control de proceso. Como calibrador de la presión absoluta, las lecturas son inafectadas por la composición del gas. Este instrumento compacto se construye del acero inoxidable 316 en todas las superficies mojadas. El sensor está disponible como instrumento independiente, o se puede configurar con la fuente de alimentación opcional de Digitaces que ofrece puntos de ajuste hola-lo del control dual. Esto es una alternativa económica del sensor a sistemas de coste más altos.
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Las necesidades especiales del uso son cubiertas por una selección amplia de tubos exactos del calibrador de Hastings. El termopila, el termopar, las galgas extensometricas piezorresistivas, y los tipos estupendos del sensor de Pirani están disponibles para la presión del vacío del protector se extiende a partir de 10-5 a 1000 torres. Los tubos del calibrador son temperatura compensada, y el choque sellado herméticamente rugoso de la vibración y de la presión del sistema de los withstands de la construcción. El uso de metales nobles asegura la calibración estable, de largo plazo. Las variaciones del diseño incluyen los sensores para la temperatura alta (bakeable), los ambientes al aire libre ásperos, y arriba sobre la presión. También una miríada de las configuraciones de la conexión del sistema está disponible resolver una amplia gama de los requisitos del montaje del sistema. Éstos incluyen 1/8 " NTP, liso (para la soldadura), el VCR, KF, 16, KF 25, el vidrio, MiniConflat (TM) y grande
Conflat (TM). Las conexiones adicionales del sistema pueden ser hechas por encargo.
Los tubos de DV-6S se han diseñado para la vibración rigurosa y dan una sacudida eléctrica usos. El tubo del calibrador es compatible con otros productos de Hastings, pero específicamente el HPM-4/6. handheld. El tubo se diseña para 0 - 1000 la gama del mTorr, la gama del patrón DV-6.
MiniConflat y Conflat son marcas registradas de Varian Asssociates,Inc.
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DESCRIPCIÓN DE PRODUCTO
El VacuMini es una versión comercial del sensor acertado de la NASA 2A de Televac alto -. VacuMini utiliza la misma teoría de operación que todo el tipo sensores de Televac de termopar de 2A. Es el áspero 1/2 el tamaño y el volumen de sensores de termopar tradicionales del vacío. Un cuerpo inoxidable trabajado a máquina 304 se diseña con los hilos de rosca de 1/8 " conexión del NPT y los planos integrales de la llave para la facilidad de la instalación. Desemejante de los sensores de termopar tradicionales del vacío que han expuesto los pernos eléctricos, los pernos de VacuMini se protegen de dos maneras. Se ahuecan dentro del diámetro del cuerpo del sensor y un tipo militar atado y gasketed casquillo screw-on del tiempo aísla los pernos de la humedad y de la suciedad. El VacuMini funcionará en cualquier orientación física. Sugerimos que usted considere usar uno de nuestros filtros en el acontecimiento su recipiente del vacío o el proceso contiene macropartículas excesivas o las contamina.
USOS DEL PRODUCTO
El VacuMini se adapta ideal a los usos donde el recipiente del vacío está situado al aire libre o en un ambiente físico que haga el uso de los sensores de termopar tradicionales impráctico. Los ejemplos de tales usos incluyen:
- Recipientes a granel fijos y móviles del almacenaje criogénico y del transporte.
- Múltiples vestidos de la entrega del gas del vacío.
- Bombas y sopladores mecánicos de vacío.
- Sistemas del vacío de la casa
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Descripción general:
Los tubos del calibrador del termopar del MDC (TGT) se diseñan para ofrecer la medida rápida y confiable del vacío y son sensores de medición del vacío extremadamente confiable. Estos dispositivos se construyen con técnicas avanzadas de la fabricación de la precisión para entregar la capacidad de repetición sin igual del tubo-a-tubo. Los recintos todos de metal rugosos son compatibles con una amplia gama de ambientes. Los tubos del calibrador del TC se ofrecen en una variedad de conexiones de extremo para acomodar la instalación fácil.
Características:
- Resistente a la corrosión
- No contaminante
- Calibración estable
- Condiciones exigentes inferiores rugosas
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El módulo de HPM-760S es un calibrador excepcionalmente estable, exacto y repetible de la presión absoluta. La señal de salida es un voltaje alto linear o una señal actual conveniente para muchos usos de control de proceso. Como calibrador de la presión absoluta, las lecturas son inafectadas por la composición del gas. Este instrumento compacto se construye del acero inoxidable 316 en todas las superficies mojadas. El sensor está disponible como instrumento independiente, o se puede configurar con la fuente de alimentación opcional de Digitaces que ofrece puntos de ajuste hola-lo del control dual. Esto es una alternativa económica del sensor a sistemas de coste más altos.
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Las necesidades especiales del uso son cubiertas por una selección amplia de tubos exactos del calibrador de Hastings. El termopila, el termopar, las galgas extensometricas piezorresistivas, y los tipos estupendos del sensor de Pirani están disponibles para la presión del vacío del protector se extiende a partir de 10-5 a 1000 torres. Los tubos del calibrador son temperatura compensada, y el choque sellado herméticamente rugoso de la vibración y de la presión del sistema de los withstands de la construcción. El uso de metales nobles asegura la calibración estable, de largo plazo. Las variaciones del diseño incluyen los sensores para la temperatura alta (bakeable), los ambientes al aire libre ásperos, y arriba sobre la presión. También una miríada de las configuraciones de la conexión del sistema está disponible resolver una amplia gama de los requisitos del montaje del sistema. Éstos incluyen 1/8 " NTP, liso (para la soldadura), el VCR, KF, 16, KF 25, el vidrio, MiniConflat (TM) y grande
Conflat (TM). Las conexiones adicionales del sistema pueden ser hechas por encargo.
Los tubos de DV-6S se han diseñado para la vibración rigurosa y dan una sacudida eléctrica usos. El tubo del calibrador es compatible con otros productos de Hastings, pero específicamente el HPM-4/6. handheld. El tubo se diseña para 0 - 1000 la gama del mTorr, la gama del patrón DV-6.
MiniConflat y Conflat son marcas registradas de Varian Asssociates,Inc.
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DESCRIPCIÓN DE PRODUCTO
El VacuMini es una versión comercial del sensor acertado de la NASA 2A de Televac alto -. VacuMini utiliza la misma teoría de operación que todo el tipo sensores de Televac de termopar de 2A. Es el áspero 1/2 el tamaño y el volumen de sensores de termopar tradicionales del vacío. Un cuerpo inoxidable trabajado a máquina 304 se diseña con los hilos de rosca de 1/8 " conexión del NPT y los planos integrales de la llave para la facilidad de la instalación. Desemejante de los sensores de termopar tradicionales del vacío que han expuesto los pernos eléctricos, los pernos de VacuMini se protegen de dos maneras. Se ahuecan dentro del diámetro del cuerpo del sensor y un tipo militar atado y gasketed casquillo screw-on del tiempo aísla los pernos de la humedad y de la suciedad. El VacuMini funcionará en cualquier orientación física. Sugerimos que usted considere usar uno de nuestros filtros en el acontecimiento su recipiente del vacío o el proceso contiene macropartículas excesivas o las contamina.
USOS DEL PRODUCTO
El VacuMini se adapta ideal a los usos donde el recipiente del vacío está situado al aire libre o en un ambiente físico que haga el uso de los sensores de termopar tradicionales impráctico. Los ejemplos de tales usos incluyen:
- Recipientes a granel fijos y móviles del almacenaje criogénico y del transporte.
- Múltiples vestidos de la entrega del gas del vacío.
- Bombas y sopladores mecánicos de vacío.
- Sistemas del vacío de la casa
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Descripción general:
Los tubos del calibrador del termopar del MDC (TGT) se diseñan para ofrecer la medida rápida y confiable del vacío y son sensores de medición del vacío extremadamente confiable. Estos dispositivos se construyen con técnicas avanzadas de la fabricación de la precisión para entregar la capacidad de repetición sin igual del tubo-a-tubo. Los recintos todos de metal rugosos son compatibles con una amplia gama de ambientes. Los tubos del calibrador del TC se ofrecen en una variedad de conexiones de extremo para acomodar la instalación fácil.
Características:
- Resistente a la corrosión
- No contaminante
- Calibración estable
- Condiciones exigentes inferiores rugosas
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Vacuómetros
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INFICON Stiletto® es un sistema de detección de la partícula exploración-laser que encuentra la rendir-limitación de la contaminación de la partícula en tiempo real en cada oblea. Su área creciente de la detección de la partícula y partícula exacta que cuentan y que clasifican, permiten las mejoras de la producción y de productividad para los procesos más avanzados del semiconductor.
El estilete de INFICON es capaz de la metrología in situ y del control de proceso, permitiendo las mejoras de la producción y de productividad para los procesos más avanzados del semiconductor. El estilete es el primer sistema de vigilancia in situ de la partícula que se integrará completamente con la herramienta de proceso. Cuando están combinadas con datos paramétricos de la herramienta, las cuentas de partícula se pueden sobreponer con estado del equipo para permitir que los ingenieros identifiquen la época y la causa exactas de la formación de la partícula. La capacidad del estilete de INFICON de detectar partículas durante cada funcionamiento de cada oblea proporciona la protección sin precedente contra pérdida defecto-inducida de la producción.
El explorador resonante del estilete de INFICON supervisa continuamente un volumen mucho más grande que los sistemas de rayo láser inmóviles usados en monitores ines situ existentes de la partícula, así que el estilete puede proporcionar estadístico las tarifas significativas de la cuenta para el control de proceso. Además, en varias ocasiones la exploración del mismo volumen permite la autocorrelación, una técnica avanzada del tratamiento de señales que elimine virtualmente cuentas falsas. Esta combinación de tecnologías puntas entrega la sensibilidad del submicron que detecta "partículas del asesino" mientras que evita acontecimientos del fastidio. Usted consigue tan la detección de avería confiable para cada oblea, cada funcionamiento, cada vez.
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