Caudalímetro másico / térmico / para gas / en línea
GF135 series Brooks Instrument

Características

  • Tecnología:

    másico, térmico

  • Fluido:

    para gas

  • Otras características:

    en línea

  • Presión de proceso:

    Mín.: 0 bar (0 psi)

    Máx.: 100 psi

  • Temperatura de proceso:

    Mín.: 0 °C (32 °F)

    Máx.: 50 °C (122 °F)

Descripción


“ El metal en tiempo real de la detección de error del flujo de la serie GF135 selló reguladores termales del flujo total
Modelos GF135

Mantenga los procesos de flujo crítico en el blanco y maximice la producción con los diagnósticos avanzados GF135 ejercen presión sobre (PTI) el regulador insensible transitorio del flujo total. El regulador “elegante” del flujo total del mundo primer es un cambiador verdadero del juego: Realiza la medida integral del flujo del tarifa-de-decaimiento sin cortar el flujo de gas de proceso. Permite que los fabricantes del semiconductor verifiquen la exactitud de proceso del gas, válvula de control escape-por y supervisen estabilidad del sensor en tiempo real sin la eliminación del regulador del flujo de la línea de gas.

Combinado con una trayectoria mojada toda de metal del flujo, tiempos de corrección ultrarrápidos y una exactitud de proceso industria-principal del gas, el GF135 PTI MFC tiene el potencial para transformar las tarifas de la productividad y de la producción para una amplia gama de processes \ /html de la deposición”

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