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Alimentación eléctrica RF de alta frecuencia para calentamiento por inducción
0.5 - 1 kW, 2 - 80 MHz | CPS series Comdel

De alta frecuencia RF de la serie del CPS
Fuentes de alimentación
Ingeniería sólida, confiable que mejora
Resultados de proceso

Funcionamiento:
Con millones de horas en el campo, los generadores de la serie del CPS de Comdel han probado su capacidad de soportar cargas erráticas. La S-Tecnología patentada proporciona el funcionamiento optimizado del amplificador para la salida ultra-estable reduciendo los cambios del aumento de la energía debido a las fluctuaciones de la impedancia del plasma. Las ayudas de la S-Tecnología eliminan dolores de cabeza de la línea longitud de la transmisión, de condiciones de la unión mal hecha y de ediciones de proceso de la confiabilidad.

Usos:
La serie del CPS se diseña para resolver la demanda del funcionamiento en los sistemas RF-conducidos del plasma para el proceso del semiconductor. Los usos incluyen el grabado de pistas, RIE, la placa paralela, el ICP, el RF que farfulla, el CVD y PVD, así como procesos de la inducción y de la calefacción dieléctrica en sistemas industriales.

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