Prensa de vacío de cerámica PLASMAPURE™ ALUMINA

Componentes cerámicos para litografía e inspección de obleas Perfectos para aplicaciones de litografía y manipulación de obleas de última generación, nuestros componentes cerámicos ultrapuros garantizan una contaminación mínima y ofrecen un rendimiento excepcionalmente duradero. COMPONENTES PARA LITOGRAFÍA E INSPECCIÓN DE OBLEAS Resistentes a los ataques químicos y térmicamente estables, nuestros componentes cerámicos de gran pureza son ideales para el procesamiento litográfico, la manipulación de obleas (baja contaminación) y la inspección de obleas (durabilidad y dureza extremas, dimensionalmente estables). Las aplicaciones incluyen: Sustratos de fotomáscaras Mandriles para obleas Componentes de plataformas para obleas Mesas para obleas MATERIALES RECOMENDADOS PARA LITOGRAFÍA E INSPECCIÓN DE OBLEAS Alúminas de alta pureza UltraClean™ Carburo de silicio recristalizado CeraSiC, UltraSiC™ carburos de silicio sinterizados directos SUSTRATOS PARA FOTOMÁSCARAS Los sustratos para fotomáscaras CoorsTek están fabricados con vidrio de cuarzo sintético de gran pureza para ofrecer una transmitancia de luz UV y visible superior, estabilidad térmica, aislamiento eléctrico, baja birrefringencia y estabilidad química duradera. La tecnología de pulido avanzada y escalable hace que estos sustratos de fotomáscara sean ideales para la creación de patrones microscópicos desde obleas hasta grandes pantallas planas (FPD). OBLEAS CERÁMICAS Nuestros mandriles para obleas de vacío cerámicos ultraplanos, mandriles paso a paso, mandriles porosos y mandriles electrostáticos mejoran la gestión del rendimiento para el procesamiento de obleas de semiconductores. Las configuraciones de bajo contacto con la superficie minimizan el riesgo de partículas en la parte posterior para aplicaciones sensibles. Nuestros mandriles para obleas ofrecen: Capacidades ultraplanas Pulido espejo Peso excepcionalmente ligero Alta rigidez Baja expansión térmica Φ Diámetro de 300 mm y superior Resistencia extrema al desgaste