Unidad de tratamiento 5500 series

Deposición en línea de películas delgadas a bajo costo El sistema SCHMID APCVD ofrece la alternativa más económica para la deposición de películas dieléctricas. En el sistema de transporte por rodillos, sólo se calienta el sustrato durante el proceso, por lo que se reducen considerablemente los requisitos de electricidad y refrigeración. Se pueden utilizar varios cabezales de inyección en serie dentro de un mismo sistema APCVD. Tres niveles de aislamiento graduado y de ahorro de energía que reducen aún más las facturas de energía. El sistema en línea está disponible en dos configuraciones: con transporte por cinta o por rodillos. Cada método de transporte tiene sus ventajas. El sistema de producción APCVD de SCHMID incluye múltiples cabezales inyectores en serie para maximizar el rendimiento del proceso, uniformidad y flexibilidad mientras se minimiza el coste. La HMI de clase mundial permite al cliente monitorizar y controlar fácilmente todos los parámetros del proceso en un entorno de pantalla táctil fácil de usar. El diseño consciente del mantenimiento permite que los inyectores de productos químicos y los conductos de escape se limpien mientras están colocados en el sistema y sin interrupciones significativas del proceso. Los conjuntos modulares de cabezales de inyectores de vapor de productos químicos permiten una instalación y extracción rápida y sencilla de la cámara de recubrimiento. Todas las piezas del cabezal del inyector son estructuras maquinadas de precisión y duraderas que garantizan una entrega precisa de productos químicos incluso después de un uso prolongado. Los sistemas térmicos de SCHMID se han hecho famosos por la estabilidad del proceso, y el sistema APCVD continúa esta tradición. El control de uniformidad de temperatura estable e insuperable asegura resultados de proceso consistentes. Además, los controles de precisión de los gases de escape del proceso y de los flujos precursores garantizan resultados de película consistentes.