Cámara digital UV
Hamamatsu Photonics
La imagen del tecleo para agrandar esto CCD progresivo de la interlínea de la exploración de la pulgada del 1/2 tiene 40% QE en 200 nanómetro y demuestra la resolución extremly buena con 1344 x 1024 pixeles. Es por lo tanto conveniente para los diagnósticos de Eximer KrF y de ArF, el alignement de rayo láser de la máscara del semiconductor, etc....
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