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NP6800 Hitachi High-Technologies Europe

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Características

  • Aplicaciones técnicas:

    para análisis

  • Tipo:

    electrónico de escáner

  • Otras características:

    con nanofocal

Descripción


Hitachi NP6800 es un sistema que sonda dedicado SEM-basado diseñado para cubrir las necesidades analíticas del dispositivo de semiconductor del nodo del diseño de 10 nanómetro y más allá.
El actuador piezoeléctrico-conducido precisión se equipa de X, Y y las hachas de Z sondan los movimientos permitiendo que las puntas de prueba sean controladas muy exacto para medir las características eléctricas de un solo transistor del MOS.
El concepto de diseño era crear un sistema que sondaba fácil de usar (como un sistema que sonda óptico) mientras que mantenía esta misma comodidad de uso incluso bajo ambiente del vacío con nuestro diseño intuitivo de la operación de la punta de prueba.
Descripción
Este sistema que sonda SEM-basado se utiliza para analizar los defectos y los fracasos que pueden convertirse durante el proceso de fabricación de cualquier dispositivo de semiconductor del nanoscale.
El Nano-probador NP6800 emplea una fuente fría optimizada del electrón de la campo-emisión, un sistema del ocho-probador, una etapa de temperatura controlada a partir de la -40 F a 302 F (- 40 grados. a 150 grados.), a un sistema de medida de la CA (opcional) para la detección de la puerta-resistencia, a un sistema de EBAC para la localización corta y abierta del fracaso, y a las unidades del intercambio de la punta de prueba y del espécimen para la producción más alta.
El Nano-probador NP6800 fue desarrollado como un sistema nano-que sondaba dedicado para no sólo la operación de la alto-producción, pero también las medidas de la alto-estabilidad de los dispositivos de semiconductor de la nano-escala. El sistema es capaz de evaluar características eléctricas, EBAC, el EBIC, el pulso IV, y los requisitos de la temperatura de los dispositivos del nanoscale.

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