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NP6800 Hitachi High-Technologies Europe

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Características

  • Aplicaciones técnicas:

    para análisis

  • Tipo:

    electrónico de escáner

  • Otras características:

    con nanofocal

Descripción

El Hitachi NP6800 es un sistema de sondeo dedicado basado en SEM diseñado para satisfacer las necesidades analíticas del dispositivo semiconductor de nodo de diseño de 10 nm y más allá.
El actuador de precisión de accionamiento piezoeléctrico está equipado con movimientos de sonda de los ejes X, Y y Z, lo que permite controlar las sondas con gran precisión para medir las características eléctricas de un único transistor MOS.
El concepto del diseño fue crear un sistema de sondeo fácil de usar (como un sistema de sondeo óptico), manteniendo la misma facilidad de operación incluso bajo vacío gracias a nuestro intuitivo diseño de operación de sondeo.
Panorama general
Este sistema de sondeo basado en SEM se utiliza para analizar los defectos y fallos que se pueden desarrollar durante el proceso de fabricación de cualquier dispositivo semiconductor a nanoescala.
El Nanoprobador NP6800 emplea una fuente de electrones de emisión de campo frío optimizada, un sistema de ocho sondas, una etapa de temperatura controlada de -40 a 150 grados, un sistema de medición de CA (opcional) para la detección de resistencia de puerta, un sistema EBAC para la localización de fallas cortas y abiertas, y unidades de intercambio de sondas y muestras para obtener el mayor rendimiento.
El Nano-Prober NP6800 fue desarrollado como un sistema dedicado de nano-probado no sólo para operaciones de alto rendimiento, sino también para mediciones de alta estabilidad de dispositivos semiconductores a escala nanométrica. El sistema es capaz de evaluar las características eléctricas, EBAC, EBIC, pulso IV y los requisitos de temperatura de los dispositivos a nanoescala.

Traducción automática  (ver el original en inglés)

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