RecipeDirector:
Creación automática de recetas CD-SEM a partir de datos de diseño
DesignGauge-AnalyzerPlus:
Estación avanzada de análisis de datos para imágenes CD-SEM
- La utilización de datos de diseño en RecipeDirector permite el ajuste automático de las coordenadas de los puntos de direccionamiento, el punto de enfoque automático y los cuadros del cursor de medición sin necesidad de conocimientos específicos
- Esto reduce el tiempo de creación de recetas y mejora la disponibilidad del CD-SEM
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