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SEM CR6300 HITACHI Industrial Components & Equipment

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Características

  • Tecnología:

    automática

  • Aplicaciones:

    para oblea

  • Otras características:

    de defectos

Descripción

SEM de revisión de defectos usando la tecnología de alta velocidad
ADR (Automatic Defect Review) y alta precisión
ADC (Automatic Defecto Classification)can se utilizará en línea para mejorar el rendimiento.
Está equipado con la función de revisión automática de obleas desnudas, la función de supervisión del proceso y la función de clasificación sistemática de defectos.

Traducción automática  (ver el original en inglés)