Regulador de caudal másico térmico SEC-Z500X series

para gasdigitalanalógico

Controlador digital de flujo másico multirrango/multigas Este es el modelo más vendido de HORIBA para controladores digitales de flujo másico. Dispone de funciones multi-rango/multi-gas que permiten a los usuarios cambiar el tipo de gas o el caudal a escala completa in situ de forma rápida y sencilla. Con una alta precisión de +/- 1,0% S.P., válvula actuadora piezoeléctrica, respuesta de alta velocidad y siendo totalmente metálico, este controlador de flujo másico es adecuado para la mejora del rendimiento del proceso y la gestión simplificada de piezas. Dispone de comunicaciones digitales/analógicas, DeviceNet™ y EtherCAT®. Alta precisión ±1,0% S.P. La linealidad de este controlador de flujo másico está compensada por una curva aproximada polinómica y logra una alta precisión para todos los rangos de control de flujo. Para avanzar en la precisión del gas real, los datos de calibración de varios gases de proceso son medidos por el sistema de medición de gas estándar de HORIBA STEC. Respuesta de alta velocidad Instalado con el "Sistema PID Variable", que puede lograr una respuesta de 1 segundo entre dos puntos de ajuste cualquiera. El PID variable cambia continuamente en función del ajuste del punto de flujo. Esto permite optimizar el factor PID cuando se cambia el caudal y los gases a escala completa. Solución Multi-Gas/Multi-Rango El software de configuración permite cambiar las especificaciones de forma rápida y sencilla. Una característica clave es que los cambios pueden realizarse sin retirar el controlador de flujo másico del panel de gas o de las tuberías. Esto reduce el número de controladores de flujo másico de repuesto necesarios, ahorrando tiempo y costes. El controlador de flujo másico SEC-Z500X es adecuado para diversas aplicaciones, así como para la fabricación de semiconductores.