Monitor de gas de alta calidad para la supervisión del punto final de la limpieza de cámaras
El IR-400 ofrece monitorización en tiempo real del punto final de limpieza de la cámara durante el proceso de deposición. Al optimizar el proceso de limpieza, el IR-400 reduce el tiempo de limpieza y el uso de gas. Esta reducción del uso de gas de limpieza conlleva una reducción de los daños en la cámara y aumenta la vida útil de todos los componentes del sistema.
Monitorización multigas (compatible con SiF4 yCF4) (IR-422)
Alta sensibilidad
Función de calentamiento de la célula de gas hasta 180 dec.C
Pantalla múltiple
Comunicación analógica/digital.
Ventajas de la monitorización del punto final en tiempo real con el IR-400
Reduce el tiempo de limpieza de la cámara
Reduce el uso de gases de limpieza
Proceso de limpieza repetible y predecible
Mayor vida útil de los componentes de la cámara
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