La CS-600F alcanza un mayor nivel de funcionalidad que se adapta mejor a la fabricación, como la capacidad de realizar mediciones en línea de soluciones químicas de alta temperatura en diversas aplicaciones, un funcionamiento estable para reducir el tiempo de inactividad y un tamaño compacto para mejorar la productividad del espacio, con el fin de cumplir con la gestión precisa de la concentración de la solución química requerida en el proceso húmedo de semiconductores de última generación.
Tamaños reducidos para un diseño más flexible
El monitor CS-600F es de tamaño compacto; la altura se ha reducido en un 36%, el volumen en un 40% y el espacio requerido por los cables de la célula en un 46% en comparación con los modelos anteriores (serie CS-100F1).
La unidad de fuente de luz y el cuerpo principal del monitor se pueden instalar de forma remota y en ubicaciones separadas, lo que permite una flexibilidad de instalación basada en las ubicaciones de la unidad de solución química y el equipo de limpieza.
Medición en línea de alta estabilidad de soluciones químicas de alta temperatura (20 a 80℃)
El nuevo sistema óptico y los algoritmos de procesamiento mejorados permiten la medición en línea de soluciones químicas de alta temperatura, un paso crítico para los procesos húmedos de vanguardia. El CS-600F de HORIBA proporciona una alta estabilidad y permite una gestión más eficiente y precisa de la solución química.
Frecuencia de corrección de fondo significativamente reducida
La frecuencia de corrección regular se reduce significativamente en comparación con el modelo anterior (Serie CS-100F1), lo que a su vez reduce significativamente el tiempo de inactividad de la unidad y contribuye en gran medida a mejorar el rendimiento.
Un solo monitor es capaz de medir hasta seis tipos de soluciones químicas (tipos o rangos de soluciones)
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