Espejo cóncavo SHARPeR
de gran precisión

espejo cóncavo
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Características

Forma
cóncavo
Opciones y accesorios
de gran precisión

Descripción

SHARPeR es un proyecto de Eurostars cuyo objetivo es desarrollar una nueva plataforma de metrología automatizada de alta precisión para componentes ópticos de altísima calidad necesarios, por ejemplo, en líneas de luz de sincrotrón, sistemas de litografía EUV y telescopios. Los espejos de rayos X a escala de medidor se caracterizarán con una precisión de error de pendiente mejor que 50nrad rms. El sistema incluirá tres elementos principales: - Una plataforma de movimiento altamente estable y repetible con etapas de rotación e inclinación de la punta - Un sensor de frente de onda de alta precisión con una precisión absoluta de λ/1000 rms - Algoritmo de pespunte avanzado para resultados de alta precisión El nuevo sensor de frente de onda Shack-Hartmann de ultra-alta precisión está integrado en un cabezal óptico junto con una plataforma de movimiento dedicada para proporcionar mapas de pendiente/altura en 2D. La superficie bajo prueba puede ser orientada horizontal o verticalmente para que coincida con la configuración realmente utilizada. Los clientes pueden especificar los rangos de desplazamiento longitudinal (dirección de barrido) y transversal para ampliar el rango del área de caracterización. Opcionalmente, se pueden añadir ejes de rotación e inclinación al sistema de movimiento. Esto permite al usuario voltear automáticamente el componente óptico bajo prueba sin perturbar el entorno de medición por interferencia manual.

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