Maquina de inspección para obleas microelectrónicas
Jeol
Las herramientas de la revisión de la oblea y de la máscara de JEOL mejoran la gerencia de la producción con las capacidades únicas que ayudan rápido a detectar imperfecciones y defectos minuciosos del asesino. la revisión del borde de la oblea de 360 grados, la alta inclinación, y la rotación completamente automatizada realzan la capacidad automática de la clasificación del defecto de nuestra inspección de alta resolución, alta SEMs de la oblea del rendimiento de procesamiento para las obleas de 150-300m m. JEOL proporciona una amplia gama de las soluciones basadas los SEM de la revisión para los diseños más avanzados y los rendimientos de procesamiento más altos.
