Maquina de inspección para obleas microelectrónicas
KoCoS
Borde de la oblea y medida del perfil de la muesca
El uso de patrones más pequeños y más pequeños en la industria del semiconductor llama para los materiales cada vez más avanzados extremadamente de la alta calidad. En respuesta a las mejoras constantes en la calidad de obleas, la automatización de KoCoS ha desarrollado WATOM, un borde de la oblea y la herramienta de la medida del perfil de la muesca que anuncia una nueva era de la medida extremadamente exacta de la geometría de la oblea.
WATOM apoya garantía de calidad a través del proceso de fabricación de la oblea, empezando muy comenzar y la continuación encendido a través a la recuperación de la oblea.
El analizador de la geometría del borde de WATOM y de la oblea de la muesca fija la prueba patrón mundial para la garantía de calidad de medidas geométricas en la fabricación de la oblea de semiconductor, combinando los estándares más de alta calidad con servicio de la tapa-clase. Estas herramientas de alta precisión, laser-basadas de la medida del perfil del borde se diseñan especialmente para la integración óptima en líneas de la fabricación dentro de la industria del semiconductor.
