Horno de oxidación VF-3000
de cinta transportadorade tipo armarioen atmósfera controlada

horno de oxidación
horno de oxidación
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Características

Función
de oxidación
Configuración
de cinta transportadora, de tipo armario
Atmósfera
en atmósfera controlada
Otras características
de laboratorio
Ancho

1.200 mm
(47,24 in)

Alto

2.610 mm
(102,76 in)

Profundidad

1.450 mm
(57,09 in)

Descripción

Este horno vertical de bajo precio, equipado con un transportador automático, puede utilizarse para una serie de funciones que van desde la I+D hasta la producción en masa de obleas de 4 a 8 pulgadas. Hemos conseguido un precio tan bajo que los usuarios finales pueden introducir este horno. El tratamiento a ultra alta temperatura está disponible y es el más adecuado para la fabricación de dispositivos de potencia. Características Equipo de bajo coste para usuarios finales Procesamiento de mini lotes, de 50 a 75 obleas, disponible para la línea de I+D hasta la de producción en masa tamaño de oblea de 4 a 8 pulgadas disponible Máximo 4 stocks de cassettes Excelente control de la temperatura, desde un rango de temperatura bajo hasta uno medio alto, mediante un calentador LGO Transferencia de obleas a alta velocidad mediante un único robot de manipulación de obleas Equipada con un sistema de control sencillo de funciones limitadas Este horno puede utilizarse para una amplia gama de tamaños de oblea, desde 4 a 8 pulgadas, y se puede elegir el procesamiento en 50-75 obleas de mini lotes. Con el contenido del hardware y el sistema de control cuidadosamente seleccionados para lograr un precio bajo, este horno vertical puede utilizarse para una amplia gama de funciones, desde I+D hasta líneas de producción en masa. Elija y utilice un calentador adecuado entre un calentador LGO, un calentador de disilicida de molibdeno (MoSi2) y un calentador de carbono, no sólo para el recocido a baja temperatura, nitruro (Si3N4), polisilicio (poli Si) y otros materiales LPCVD, oxidación y difusión, sino también para la oxinitruración de silicio de la puerta del dispositivo de potencia SiC, el recocido de activación y otros procesos de tratamiento a ultra alta temperatura.

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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.