Horno de oxidación RLA-1200

de recocidode campanade gas

Este sistema de recocido con lámpara para obleas de 4 a 8 pulgadas consigue un procesamiento de alta calidad incluso para su uso en I+D. La activación y la oxidación están disponibles en un entorno de vacío (LP) y en una atmósfera de bloqueo de carga de N2. Características Proceso de alto rendimiento con I+D Sistema de bajo coste por transferencia manual del susceptor La estructura de lámpara transversal superior e inferior y el horno de inmersión mejoran la uniformidad de la temperatura en el plano tamaño de oblea de 4 a 8 pulgadas disponible Equipado con un sistema de control de alto rendimiento de fácil manejo El tubo de cuarzo diseñado para el vacío permite la sustitución precisa del gas y el proceso a presión de vacío Este sistema de recocido de lámparas para la I+D de obleas de 4 a 8 pulgadas ahorra costes de procesamiento gracias al calentamiento de alta velocidad a 200°C/seg y a la transferencia manual del susceptor. La estructura que utiliza las lámparas halógenas cruzadas superior e inferior consigue una uniformidad superior de la temperatura en el plano, haciendo realidad un procesamiento de bajo coste y alta calidad. Gracias al tubo de cuarzo diseñado para incluir una propiedad de resistencia al vacío, el procesamiento está disponible en un entorno de vacío limpio (LP) y una atmósfera de bloqueo de carga de N2.