Maquina de inspección para obleas microelectrónicas
ø: 300 mm | Proforma 300
MTI Instruments
* Silicio
* Arseniuro de galio
* Fosfuro de indio
* Germanio
... sin volver a calibrar o eléctricamente poner a tierra la oblea.
Rápido, exacto, y confiable, el pro forma obleas de 300 medidas hasta 300 milímetros de diámetro para el grueso y la variación total del grueso (TTV)
Portable y fácil fijar, el pro forma 300 proporciona las medidas sin contacto exactas del usuario en los puntos críticos a través del proceso de fabricación de la oblea.
El grueso y los valores de TTV son obtenidos colocando la oblea entre las puntas de prueba sin contacto de la capacitancia de los instrumentos del MTI. La etapa cubierta Teflon de la oblea permite la colocación fácil, no abrasiva de la oblea, mientras que las clavijas posicionadoras desprendibles se pueden utilizar para las medidas de centro exactas del grueso. El grueso y los valores de TTV se indican en la exhibición de alta resolución del LCD.
Un puerto RS-232 se proporciona para la salida a un de computadora personal, mientras que un puerto paralelo proporciona salida directa a una impresora.
