Maquina de inspección para obleas microelectrónicas con microscopio
PV-1000 Advantage
MTI Instruments
Usando la tecnología de vaivén exclusiva de la punta de prueba de la capacitancia de MTII, cada módulo PV-1000 proporciona hasta tres pares de puntas de prueba para la medida del grueso del máximo, mínimo y medio, así como la variación del grueso y (TTV) el arco totales de la oblea. Para los usos que requieren los canales adicionales del grueso, los módulos múltiples PV-1000 se pueden encadenar juntos para la línea ilimitada exploraciones en la oblea.
La oblea vio que detección y clasificación de marca es lograda agregando los sensores opcionales del laser al módulo PV-1000. Utilizando hasta dos de la industria de MTII que lleva Microtrak - las cabezas independientes del laser del SA, consideraron que las marcas se pueden clasificar para la orientación y la profundidad simultáneamente con la exploración del grueso de la oblea que hace el ideal PV-1000 para la caracterización y la clasificación entrantes de la oblea.
La electrónica de adquisición de datos y de control integrada analiza y transmite datos de la oblea vía el puerto de Ethernet a bordo a las velocidades de hasta cinco obleas por segundo. El puerto digital de la entrada-salida permite la comunicación con el equipo de dirección de la oblea para hasta 64 clases de oblea que clasifican y binning. Las capacidades del control remoto permiten que usted considere su cadena de producción datos a través de su red o directo en el módulo.
