Maquina semiautomática de inspección para obleas microelectrónicas
ø: 200 - 300 mm | Proforma 300SA MTI Instruments

El pro forma 300SA es un sistema de medida semiautomatizado del grueso para los materiales semiconductores y semiaislantes de la oblea. Capaz de manejar 200 obleas del milímetro y de 300m m, el 300SA proporciona medidas alto exactas, repetibles del grueso, TTV, el arco, la deformación, el sitio y la llanura global. Construido alrededor de tecnología de vaivén exclusiva de la capacitancia de los instrumentos del MTI, el pro forma 300SA entrega la exploración completa de la superficie de la oblea en la prensa de un botón. Los patrones definidos por el usario y de ASTM/SEMI de la exploración se utilizan para generar una imagen de 3 dimensiones completa de la oblea.

Fácil de utilizar....

El interfaz utilizador estándar de Windows® hace el pro forma 300SA fácil de utilizar y la disposición. Cada medida y parámetro de la máquina es seleccionables de una lista de opciones estándar. El software de control tiene tres niveles de seguridad, de un ambiente de producción a un análisis de ingeniería completo de la geometría de la oblea. Los informes modificados para requisitos particulares de los datos, tan bien como la capacidad de exportar datos de la medida a cualquier hoja de balance agregan la capacidad de emparejar el pro forma 300SA a sus necesidades de proceso

Especificaciones de la oblea

* Diámetro: 200m m y 300m m.
* Material: Todos los materiales semiconductores y semiaislantes.
* Superficies: Como-cortar, traslapado, grabado al agua fuerte, pulido, modelado.
* Plano/muesca: Planos o muesca todo SEMI estándar.
* Conductividad: Tipo de P o de N.
* Montaje de la oblea: Oblea pelada, base del zafiro/del cuarzo, cinta.

Medidas

* Grueso y TTV.
* Arco
* Deformación
* Sitio y llanura global

Ventajas

* Alternativa rentable a las herramientas completamente automatizadas.
* Por completo gama 1000 de la medida del grueso del uM sin la recalibración. Modelos de la gama extendida disponibles para la gama del grueso para 1.7 milímetros.
* Interfaz utilizador estándar de Windows®.