Evaporador por bombardeo iónico Triple EFM

de proceso

El área de evaporación distancia de trabajo de 8.5, 11 y 15 milímetros 93 milímetros (10 milímetros) 3 células/filamentos independientes funde monitores ninguna interferencia durante el Posterior-cargamento compuesto del crecimiento de evaporants que un producto del FOCO basó en el concepto de diseño de las evaporadores de EFM 3, el EFM triple ofrece tres células independientes para la evaporación de una amplia gama de materiales de los alambres, de las barras o de los crisoles. Cada célula se equipa de un filamento separado y de la fuente del alto voltaje para prevenir la interferencia (300 W cada uno). Tres monitores independientes del flujo permiten el crecimiento stoichiometric controlado de compuestos. El obturador integral de la multi-posición permite la dosificación exacta y la evaporación simultánea o consecutiva (?abra? las posiciones: 1, 2, 3, 1+3, 2+3, 1+2+3). El área de la deposición es gobernada por la opción de una de tres aberturas. Las tres blancos de la evaporación se montan independientemente en tres 25 milímetros Z-cambian de puesto para la alineación con respecto al filamento. Esta característica permite la evaporación de las barras con un instrumento del multi-bolsillo. Los materiales de la blanco se pueden rellenar fácilmente de la parte posterior (CF de 3x nanovatio 16).