Sensor de posición capacitivo de precisión subnanométrica 10 - 500 µm
Physik Instrumente
El pi proporciona la dual-placa y los sensores capacitivos de la solo-placa para los usos ultraaltos de la detección de posición de la precisión. Los sensores y la electrónica de control especial con el trazado de circuito propietario del ILS del pi fueron desarrollados para proporcionar las linearidades más altas y la resolución y también para haber sido empleados en las etapas nanopositioning de la clase de la referencia del pi por muchos años.
