Sistema de nanoposicionamiento multiaxial SMARPOD P-SLC-17
hexápodocon cinemática paralelade alto vacío

sistema de nanoposicionamiento multiaxial
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Características

Número de ejes
multiaxial
Estructura
hexápodo
Otras características
con cinemática paralela, de alto vacío
Repetibilidad

50 nm

Carrera

10 mm, 30 mm, 50 mm
(0,39 in, 1,18 in, 1,97 in)

Descripción

Un SMARPOD de tamaño medio basado en etapas SLC-17 en orientación paralela que es capaz de posicionar cargas útiles de hasta 5 N. El SMARPOD P-SLC-17 se basa en un diseño mecánico diferente en relación con la orientación de las etapas montadas horizontalmente. En comparación con un SMARPOD circular de casi el mismo tamaño, el P-SLC-17 ofrece un rango de recorrido mucho mayor en prescindencia de la apertura disponible en los diseños circulares. Basado en las etapas de la serie SLC-17, el SMARPOD P-SLC-17 también está disponible en una versión de alto y ultra alto vacío, así como en una versión fabricada con materiales totalmente no magnéticos. Mecánica Recorrido [mm] - 48 (X); 28 ... 48 (Y); ≤ 9 (Z) Recorrido [ - ≤ 28 (Θx); ≤ 26 (Θy); ≤ 20 (Θz) Max. Fuerza normal [N] - 5 Max. Fuerza horizontal [N] - 2,5 Dimensiones [mm] - 110 x 80 Altura de la plataforma sobre el suelo [mm] - 67,5 Peso [g] - 300 ... 2000 Bucle cerrado Tipos de sensores - S; SC Incremento más pequeño [nm] - 1 Incremento más pequeño [µrad] - 1 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidad de bucle cerrado, recorrido de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opciones Opciones de vacío - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opción no magnética - Sí (-NM)

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Catálogos

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 Páginas

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