Un SMARPOD de tamaño medio basado en etapas SLC-17 en orientación paralela que es capaz de posicionar cargas útiles de hasta 5 N.
El SMARPOD P-SLC-17 se basa en un diseño mecánico diferente en relación con la orientación de las etapas montadas horizontalmente. En comparación con un SMARPOD circular de casi el mismo tamaño, el P-SLC-17 ofrece un rango de recorrido mucho mayor en prescindencia de la apertura disponible en los diseños circulares.
Basado en las etapas de la serie SLC-17, el SMARPOD P-SLC-17 también está disponible en una versión de alto y ultra alto vacío, así como en una versión fabricada con materiales totalmente no magnéticos.
Mecánica
Recorrido [mm] - 48 (X); 28 ... 48 (Y); ≤ 9 (Z)
Recorrido [ - ≤ 28 (Θx); ≤ 26 (Θy); ≤ 20 (Θz)
Max. Fuerza normal [N] - 5
Max. Fuerza horizontal [N] - 2,5
Dimensiones [mm] - 110 x 80
Altura de la plataforma sobre el suelo [mm] - 67,5
Peso [g] - 300 ... 2000
Bucle cerrado
Tipos de sensores - S; SC
Incremento más pequeño [nm] - 1
Incremento más pequeño [µrad] - 1
Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [nm] - < ± 200
Repetibilidad de bucle cerrado, recorrido de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10
Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [µrad] - < ± 15
Opciones
Opciones de vacío - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
Opción no magnética - Sí (-NM)
---