Espectrómetro Auger (AES)
Thermo Scientific - Scientific Instruments
MICROLAB 350 es un espectrómetro de alto rendimiento, de exploración del electrón de taladro (AES) con alta sensibilidad y la resolución de alta energía. La resolución <7 nanómetro de los SEM y la exploración barrenan el trazado (SAM) de la resolución <12 nanómetro.
Detalle del producto
Espectrómetro de alto rendimiento del electrón de taladro de la exploración (AES)
Electrón secundario que traza (SEM) en la resolución de <7 nanómetro
Taladro de la exploración que traza (SAM) en la resolución de <12 nanómetro
Alta sensibilidad
El analizador esférico del sector permite la resolución de alta energía para:
Determinación de estado química
Espectroscopia de pérdida de energía reflejada de electrón (REELS)
Medida de dopantes en silicio
Capacidad de Multitechnique incluyendo:
Espectroscopia del fotoelectrón de la radiografía (XPS)
Espectroscopia de radiografía dispersiva de la energía (EDX)
Detección retrorreflejada del electrón
BOLA
Instalaciones de preparación incluyendo:
Etapa de la fractura
Etapa de calefacción/de enfriamiento
Etapa de la evaporación
