Plataforma antivibraciones STACIS Quiet Island

Las fábricas de manufactura de semiconductores (fabs), los centros de nanotecnología, los nanofabs y otras instalaciones de investigación y fabricación de precisión a menudo incorporan salas estériles con un sistema de pisos falsos elevados para adaptarse a los requisitos de instalaciones complejas (tuberías, cables eléctricos, tuberías de gas, etc.) y para mantener normas estrictas de limpieza. Tales pisos representan un desafío para la instalación de equipos de producción, inspección y metrología sensibles a la vibración. Los pisos elevados no pueden proporcionar el entorno de vibración silencioso necesario para tales herramientas. La Quiet Island de TMC es una solución innovadora que reemplaza una sección de la superficie de piso elevada con una “isla tranquila” anclada por debajo del subsuelo. Quiet Island consiste en una plataforma superior compatible con sala estéril combinada con una aplicación y una estructura de soporte específica para el sitio. Cancelación de vibraciones El principal elemento de soporte y la tecnología principal única de Quiet Island es el Sistema de cancelación de vibración activa STACIS III. Este sistema de soporte de cancelación de vibración inercial de estilo “rígido” es crítico para cualquier instrumento sensible a la vibración, permitiendo que dichas herramientas operen a sus estándares más altos en un entorno de otro modo ruidoso. STACIS III es compatible con herramientas automatizadas de procesamiento de obleas, herramientas de imagen de eBeam de alta resolución, herramientas de fresado de haz de iones y cualquier herramienta con sistemas internos de aislamiento contra vibraciones,