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... >Precisión de alineación: ≤ 0,5 μm
Características técnicas
- Manipulación automática de wafers y alineación de máscara
- Soporte para tamaños de wafer combinados: 2–4 pulgadas y 4–6
SEIWAOPTICAL
... optimizado para exposiciones de alta definición y un mecanismo de paralelismo preciso entre fotomáscara y oblea. El sistema
totalmente automático admite tres modos de control de separación: Vacuum contact, Soft Contact y Proximity Gap.
Aplicaciones ...
SEIWAOPTICAL
... Características clave
- Alineación seleccionable: opciones de alineación manual o automática.
- Control de separación seleccionable: ajuste automático o manual del gap.
- Carga/descarga manual
SEIWAOPTICAL
... sustrato. Funcionamiento totalmente automático con modos de exposición: contacto al vacío, contacto suave y brecha de proximidad. Configuraciones vertical y horizontal para diferentes tamaños de máscara: vertical para ...
SEIWAOPTICAL
... perfectamente con las herramientas de cluster. Los nuevos alineadores de máscaras de producción de OAI son el paquete completo. RENDIMIENTOS ALTAMENTE OPTIMIZADOS 200 WPH en el modo de primera máscara ...
... tecnología de alineación de máscaras de última generación en un área de huella minimizada de hasta 150 mm de tamaño de oblea. Conocida por su versatilidad y fiabilidad, la EVG620 NT proporciona tecnología de alineación de máscaras ...
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