Máquina de deposición CVD ULCoat

Con la inyección de un precursor en el plasma posterior a la descarga, el ULCoat permite la deposición de finas capas sobre la superficie tratada. El ULCoat es un sistema de vaporización e inyección de un precursor debajo de la boquilla de plasma. El ULCoat se utiliza junto con un generador OMEGA ULS. El módulo estándar está diseñado para la deposición de óxidos de silicio (SiOx) utilizando un precursor organometálico. Pero se pueden explorar otras composiciones químicas. El laboratorio de desarrollo de procesos de AcXys Technologies está a su servicio para desarrollar la aplicación que satisfaga sus necesidades bajo un contrato de I + D.