Alimentación eléctrica benchtop Trek series

DCajustablecon protección de sobreintensidad

Resumen Las fuentes Trek para e‑chuck (electrostatic chuck) de Advanced Energy proporcionan control preciso de la tensión de sujeción, la tensión de offset y el offset de polarización DC, junto con umbrales configurables para over‑current, wafer‑present y wafer‑clamped. Secuencias personalizadas de sujeción/liberación y formas de onda programables optimizan el comportamiento del chuck para reducir el pegado y el popping de obleas, mejorando el rendimiento y el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.

Estado del producto Active

Características clave

• Umbrales monitorizados: over‑current, wafer‑present y wafer‑clamped
• Tensión ajustable: tensión de sujeción y tensión de offset
• Control de polarización DC: interno o externo
• Secuencias personalizables: secuencias de clamp/de‑clamp y formas de onda programables
• Diseñado para prevenir el pegado y el wafer‑popping
• Mejora el rendimiento, reduce daños en las obleas y aumenta el rendimiento

Documentación técnica (seleccionada)

• Trek 645 Hoja de datos — Hoja de datos — PDF — 111 KB — 6 de febrero de 2024
• Trek 645‑HT Hoja de datos — Hoja de datos — PDF — 163 KB — 11 de diciembre de 2025
• Trek 646 Hoja de datos — Hoja de datos — PDF — 116 KB — 18 de febrero de 2024
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — Nota de aplicación — PDF — 607 KB — 15 de junio de 2023

Aplicaciones Para procesos de fabricación de semiconductores que requieren control fiable de la alimentación de electrostatic chucks, incluyendo deposición, grabado, implantación y inspección por haz de electrones.

Especificaciones técnicas

• Parámetros de control: over‑current, wafer‑present, umbrales wafer‑clamped
• Controles de tensión: tensiones de clamp y offset ajustables
• Control de polarización: control de DC‑bias interno o externo
• Control de secuencia: secuencias clamp/de‑clamp configurables y formas de onda programables
• Beneficios principales: reduce daños en las obleas, previene el pegado y el popping, mejora el rendimiento y el throughput
• Modelos referenciados: Trek 645, Trek 645‑HT, Trek 646