Analizador de oxígeno intersticial SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer
de concentraciónde lingotes de silicio

analizador de oxígeno intersticial
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Características

Objeto de la medición
de oxígeno intersticial
Mesurando
de concentración
Otras características
de lingotes de silicio

Descripción

SiBrickScan (SBS) es un sistema a pie de línea dedicado para la cuantificación por FTIR del oxígeno intersticial en lingotes completos de silicio, dando por resultado un perfil exacto de la concentración a lo largo del eje longitudinal. El acceso a esta información, sin cortar las obleas ni preparación de las muestras de prueba, es una ventaja y un ahorro importante de costes: ¡califique los lingotes individuales antes de cortarlos y optimice el proceso de la cristalización del Si! Características únicas de SBS: • Alta sensibilidad con límites de detección de oxígeno < 2 ppma • Calibración de alta calidad ligada directamente a ASTM/SEMI 1188 • Disponible para lingotes cuadrados y cilíndricos de diversos diámetros • Innovador camino óptico de alta sensibilidad con la muestra de referencia integrada • Interfaz de usuario intuitiva y cómoda • Evaluación automatizada de los datos • Compatibilidad industrial y diseño robusto con conducción lineal precisa. • Detector infrarrojo sin N2 líquido

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