COBRA BC 0100 F es la nueva bomba de vacío de tornillo con funcionamiento en seco para la evacuación de cámaras de recarga y otros procesos exigentes que tienen lugar durante la producción de células fotovoltaicas, pantallas planas y semiconductores. Gracias a su eficiente refrigeración por agua y a la mayor velocidad de bombeo en bombas de su clase, esta bomba de vacío es ideal para todas las aplicaciones en las que se necesite una generación de vacío eficaz, rápida y fiable. Las bombas de vacío COBRA funcionan sin aceite y sin contacto, lo que permite evacuar medios cargados de partículas.
La bomba COBRA BC 0100 F está equipada con un motor de gran eficiencia que dispone de modo reposo. De esta forma, se pueden conseguir unos notables ahorros de energía.
Gracias a su diseño compacto, la COBRA BC 0100 F requiere muy poco espacio para su instalación; además sus necesidades energéticas son extraordinariamente bajas, lo que permite mantener los costes operativos al mínimo.
Aplicaciones
DQV (Deposición Química de Vapor) de plasma de alta densidad
(HDP-CVD)
Proceso térmico rápido (RTP)
DQV a presión subatmosférica (SACVD)
DQV mediante procesos químicos organometálicos (MOCVD)
DQV mejorada por plasma (PECVD)
DQV de baja presión (LPCVD)
Deposición de capa atómica (ALD)
Aplicaciones de cámaras de recarga
Especificaciones técnicas
La COBRA BC 0100 F es una bomba de vacío de doble tornillo de una sola etapa. Dos rotores de tornillo giran sincronizados dentro del cilindro, atrapando y comprimiendo el medio medio a bombear, el cual se transporta hacia el escape.