COBRA BC 0600 F
Eficiente:
Rentable, largo tiempo de funcionamiento, eficiente en energía
Fácil mantenimiento:
Largos intervalos de mantenimiento
Confiable:
Operacionalmente fiable
Flexible:
Orientado a la aplicación
Silencio:
Nivel de ruido < 62 dB(A)
La COBRA BC 0600 F es una bomba de vacío de tornillo seco probada dentro de la gama de la serie COBRA BC. Ofrece las mejores velocidades de bombeo de su clase para las aplicaciones solares, de panel plano y de semiconductores más exigentes.
La serie COBRA BC ofrece excelentes capacidades de manipulación de polvo y partículas gracias a su diseño único de tornillo. El diseño probado combina la bomba de respaldo y el reforzador de vacío en un marco compacto.
Las bombas de vacío de la serie COBRA ofrecen costes de propiedad reducidos. Los motores de alta eficiencia y la función de modo de reposo aumentan la eficiencia energética. Se obtienen ahorros adicionales gracias al aumento del tiempo de actividad y a la reducción del espacio ocupado, lo que facilita la adaptación en muchos casos.
Aplicaciones
Bloqueo de carga (condicional)
Transferencia
Metrología
Litografía
Deposición física de vapor (PVD)
Recocido térmico rápido (RTA)
Tira/Ashing
Grabado al óxido
Grabado de Silicona
Grabado de metal
Especificaciones técnicas
La bomba de vacío de tornillo COBRA BC 0600 F funciona con dos rotores de tornillo que giran en direcciones opuestas. Esto atrapa el medio a bombear entre el cilindro y las cámaras de los tornillos y lo transporta a la descarga de gas. El mecanismo de tornillo minimiza las zonas de deslizamiento dentro de la bomba y, por lo tanto, tiene una capacidad óptima de manejo de polvo y de reinicio.
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