Bomba de vacío de tornillo COBRA BC 1000 F

secade plasmacompacta

Las bombas COBRA BC 1000 F y BC 2000 F son bombas de vacío de tornillos, con funcionamiento en seco, de la serie COBRA BC. Su elevada velocidad de bombeo, y gran caudal de hidrógeno, las convierte en las bombas idóneas para los exigentes procesos que tienen lugar durante la fabricación de células fotovoltaicas, pantallas planas y semiconductores. Las bombas de vacío COBRA funcionan sin aceite y sin contacto, lo que permite evacuar polvo y medios cargados de partículas. Tanto la bomba COBRA BC 1000 F como la bomba BC 2000 F incorporan, de serie, una bomba aceleradora (Roots) que ofrece mayor velocidad de bombeo y vacío límite. La bomba primaria y la Roots están montadas en una bancada formando un grupo compacto. Las bombas COBRA BC 1000 F y BC 2000 F están equipadas con motores de alta eficiencia que disponen de modo reposo; de esta forma se pueden conseguir importantes ahorros de energía. Gracias a su diseño compacto requieren muy poco espacio para su instalación y sus necesidades energéticas, extremadamente bajas, permiten mantener al mínimo los costes operativos. Además, la larga vida útil de las bombas de vacío COBRA BC contribuye a reducir aún más los costes totales. La incorporación de estas bombas de vacío de tornillos a sistemas ya existentes es rápida y sencilla. Aplicaciones • DQV (Deposición Química de Vapor) de plasma de alta densidad (HDP-CVD) Proceso térmico rápido (RTP) DQV a presión subatmosférica (SACVD) DQV mediante procesos químicos organometálicos (MOCVD) DQV mejorada por plasma (PECVD) DQV de baja presión (LPCVD) Deposición de capa atómica (ALD) Cámaras de recarga