Sistema de prueba de envejecimiento Hatina WLBI

térmicode funcionamientode envejecimiento acelerado

Descripción del producto
El Hatina WLBI es una solución de Burn-In a nivel wafer (WLBI) y HTOL diseñada para dispositivos de potencia sobre oblea. La cámara de prueba compacta (huella nominal 560×560×550 mm; ficha técnica D×W×H 560×560×560 mm) se conecta a probadores de obleas estándar para permitir el burn-in de oblea completa con alto rendimiento paralelo. Los calentadores están integrados en cada DUT para proporcionar control térmico local preciso y de bajo consumo (enfoque sin horno), reduciendo el consumo energético y la huella y simplificando la integración con la automatización.

Ventajas clave

• Compatible con tecnologías de potencia: Si, SiC y GaN
• Acepta obleas de 6, 8 y 12 pulgadas
• Permite burn-in de oblea completa y pruebas aceleradas de fiabilidad
• Alto rendimiento paralelo para pruebas de ciclo de vida coste-efectivas
• Se integra con plataformas de probadores de obleas estándar

Funcionalidades / Capacidades

• Cámara compacta de Burn-In a nivel wafer diseñada para integrarse con probadores de obleas estándar
• Alto rendimiento paralelo: hasta 1.600 sitios de prueba simultáneos
• Límites eléctricos por sitio: hasta 1,2 kV y 2 mA
• Soporta configuraciones de prueba: burn-in funcional, HTGB y HTRB
• Calentadores distribuidos integrados en cada DUT para control térmico local preciso y de bajo consumo
• Diseño compatible con sala limpia y listo para integración automatizada

Notas de parámetros / variantes

• Func_Test: Sí
• HTGB: Sí
• HTRB: Sí
• BVDSs: posible (futura revisión de software uIDE)
• IDSx: posible (futura revisión de software uIDE)
• Vth: posible (futura revisión de software uIDE)
• Hasta 1600 die probados en un solo touchdown de oblea (3 endpoints por sitio)

Especificaciones técnicas

• Número de sitios de prueba: Hasta 1600
• Dimensiones (D × W × H): 560 mm × 560 mm × 560 mm (ficha técnica); cámara compacta según vista general: 560×560×550 mm
• Fuente de alta tensión Drain: -50 V a 1,2 kV
• Fuente de tensión Gate: -50 V a +50 V
• Corriente en test funcional: 2 mA
• Corriente en test HTRB: 2 mA
• Corriente en test HTGB: 2 mA
• Tipos de prueba soportados: burn-in funcional, HTGB, HTRB, WLBI (obleas completas)
• Compatibilidad de obleas: 6, 8 y 12 pulgadas