Alcance niveles de vacío más bajos rápidamente
Los refrigeradores criogénicos MaxCool de Edwards Polycold® son sistemas de refrigeración criogénica de circuito cerrado que capturan eficazmente el vapor de agua, que comprende entre el 65 % y el 95 % del gas residual en los sistemas de alto vacío.
Estos refrigeradores criogénicos se pueden utilizar para capturar el vapor de agua y otras sustancias condensables, congelándolas en una superficie fría, como una criobobina o un deflector tipo chevrón. Los refrigeradores criogénicos MaxCool también se utilizan para enfriar y calentar objetos tales como abrazaderas electroestáticas que se utilizan en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los diferentes modelos de nuestra gama proporcionan 2000, 2500 o 4000 W de enfriamiento.
Bombeo de vapor de agua
El vapor de agua es, por lo general, el contaminante más reactivo presente en los sistemas de alto vacío. Con nuestros refrigeradores criogénicos MaxCool, obtendrá un aumento en el rendimiento de su sistema existente de un 20 % a un 100 %, y mejorará la calidad de la deposición.