Sistema de posicionamiento módulos combinados Z3TH

XYrotativovertical

El Módulo Combinado Z3TH aumenta el rango de módulos para montar sobre las plataformas XY existentes. El Z3TH, con 4 grados de libertad, proporciona 364° de rotación Theta, ejes Z dobles, amplio para carga-descarga de oblea y fino para enfoque, así como una corrección Tip-Tilt de ±0.1°. Este módulo Z3TH es una atractiva alternativa a los piezo-actuadores Z, eliminando la histéresis y la no-linealidad en lazo abierto, a la vez que mejorar el error de seguimiento, la repetitividad, y las prestaciones de desplazamiento y estabilización de posición, además de recorridos mucho mayores. El módulo Z3TH está principalmente destinado a aplicaciones de tipo front-end y proporciona una adecuada solución para afrontar cualquier aplicación que requiera: - Alineación entre la herramienta del proceso y un sustrato - Mapeado de planitud - Mejora al desplazar y estabilizar posición Principalmente aplicado en litografía de back-end y control de proceso de obleas. Características - Rotación Theta de 364° - Corrección tip-tilt sobre ±0.1° para nivelación y mejora de desplazamiento y estabilización - Paso de vacío hacia el nivel del plato - Integración de Z doble: recorrido amplio para carga/descarga y fino para ajuste foco - Compatible con sala limpia ISO clase 1 - Baja desviación axial y radial de ±1 µm