Módulo de control para obleas VULCANO XYZ3TH6 ejes
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Características
- Especificaciones
- para obleas, 6 ejes
Descripción
La plataforma VULCANO XYZ3TH se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo combinado Z3TH. El Z3TH, con 4 grados de libertad, proporciona 364° de rotación Theta, ejes Z dobles, amplio para carga-descarga de oblea y fino para enfoque, así como una corrección Tip-Tilt de ±0.1°.
Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Alta dinámica: 2,5 g, 1,5 m/s
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1
- Corrección tip-tilt sobre ±0.1°
- Doble integración Z
- Compensador de gravedad integrado para Z
- Excelente linealidad en Z
- Repetitividad y jitter en Z mejorados
- Capacidad de corrección planitud de la plataforma
- Suministro de vacío a nivel del plato
VÍDEO
Catálogos
VULCANO Platform leaflet
3 Páginas
Ferias
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.