Manómetro de vacío con Pirani BPG402

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BPG402 ATM al medidor de ultra alto vacío El medidor combinado de INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, funciona como dos medidores en una sola unidad compacta que mide desde 5×10-10 mbar a la atmósfera (3,8×10-10 Torr a la atmósfera). La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, configuración e integración. Elija el BPG402-S con dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio para obtener un proceso asequible y repetible para basar las mediciones de presión en un paquete económico. Los elementos sensores con datos de calibración a bordo garantizan una alta reproducibilidad al intercambiar los sensores. Beneficios Rango de medición extremadamente amplio de 5×10-10 mbar a la atmósfera (3,8×10-10 Torr a la atmósfera) Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso de 10-8 ... 10-2 mbar del 5% El entrelazado Pirani protege el filamento de un desgaste prematuro Dos filamentos de iridio de larga duración recubiertos de óxido de itrio Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles El ajuste Pirani de alto vacío automático reduce las intervenciones del operador La facilidad de intercambio de los elementos de detección con los datos de calibración a bordo garantiza una alta reproducibilidad Cumplimiento de la RoHS Aplicaciones típicas Medición de la presión en las cámaras de proceso y transferencia de semiconductores Recubrimiento industrial Medición y control general del vacío en el rango de vacío bajo a ultra alto