Manómetro de vacío capacitivo con membrana CDG160D

con sensor cerámicosin visualizador

CDG160D Los manómetros de alta temperatura INFICON SKY CDG160D son su mejor opción para la medición y control preciso de la presión total. Los medidores CDG160D tienen una temperatura controlada a 160 °C para un rendimiento superior en los exigentes procesos de semiconductores y plasma. Están disponibles para rangos de escala completa desde 1 Torr a 1000 Torr, con todos los tipos de bridas comunes e interfaces de bus de campo y proporcionan una señal de presión lineal de 0 a 10 V, independiente del tipo de gas. Los manómetros de capacitancia INFICON usan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura que es a prueba de corrosión. Las ventajas del sensor cerámico son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una vida útil extraordinaria. INFICON CDG son sensores de presión de alta calidad y económicos para aplicaciones exigentes de semiconductores, plasma y vacío. Beneficios Menor CoO (costo de propiedad), 50% más rápido de calentamiento, bajo consumo de energía Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, estándar con dos puntos de ajuste Un simple botón o un comando de cero de señal remota, compensación de cero ajustable Puerto de diagnóstico para un rápido servicio y mantenimiento Dos años de garantía, mayor vida útil con el concepto de calentamiento y la protección del indicador No hay recalibración a largo plazo debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en aplicaciones de plasma duro Cumplimiento y normas: CE, EN, UL, SEMI, RoHS Aplicaciones típicas Grabado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores Procesos químicos y corrosivos de alta temperatura Los procesos generales de película delgada y de vacío que requieren protección de calibre