Con nuestro sistema automatizado de transporte por rodillos para salas blancas, el transporte manual de obleas en fábricas de semiconductores es cosa del pasado. El transporte automatizado del material al sistema de proceso ahorra un valioso tiempo al operario, reduce los tiempos de producción y, por tanto, mejora la eficiencia global de la producción.
Sistema de transporte inteligente para la industria de semiconductores
El transportador de rodillos compatible con salas limpias transporta diferentes tipos de cajas de transporte, como FOUPs, SMIF pods, cajas HA200, casetes de oblea abiertos y cajas de oblea específicas del cliente.
Dispuestos por zonas, los motores de accionamiento independientes del sistema de transporte de rodillos garantizan un transporte automatizado sin colisiones. Además, el sistema puede acelerar o desacelerar la mercancía transportada a diferentes velocidades en las secciones. Para garantizar la sincronización del lado de accionamiento con los rodillos pasivos, éstos se conectan a intervalos regulares a ejes huecos.
La versátil combinación de elementos de línea, elevación y rotación del sistema permite implementar soluciones de transporte de obleas altamente personalizadas en fábricas de semiconductores. El sistema de transporte puede integrar varios niveles de producción de una fábrica.
El sistema de transporte puede integrar varios niveles de producción de una fábrica. Al incorporar pasos de trabajo adicionales, como la lectura de los identificadores de los soportes y de las obleas, el mapeado y la alineación de las obleas en el proceso de transporte, se ahorra mucho tiempo a lo largo de la ruta de transporte.
Por último, una característica especial del sistema de transporte para salas blancas es el control sencillo y flexible mediante microcontroladores integrados.
---