Sistema de medición de espesor MicroProf® MHU

de planitudde rugosidadrobotizado

La herramienta de metrología FRT MicroProf® MHU con unidad de manipulación de materiales, está especialmente diseñada para las industrias de semiconductores, MEMS, zafiro y LED. Las aplicaciones típicas son las mediciones de obleas desnudas y recubiertas, así como de obleas estructuradas en varios pasos del proceso litográfico. Gracias a un brazo robótico con dos efectores finales de vacío, la herramienta tiene un rendimiento muy alto de hasta 220 obleas por hora. Es capaz de procesar tamaños de oblea de 2 a 8 pulgadas. Se pueden procesar hasta 4 casetes abiertos y, además, existe la opción de integrar un prealineador y un lector OCR. La opción de medición de muestras por las dos caras permite la medición simultánea de la superficie superior e inferior con la determinación del grosor de la muestra, la variación total del grosor (TTV) y diversos parámetros de la superficie, como la rugosidad, la ondulación y la planicidad de ambas caras. También es posible una medición completa de la forma de la oblea con el análisis de los parámetros globales y locales de la misma. Se dispone de una función de clasificación de obleas, ajustable según los requisitos del cliente. Basado en la tecnología SurfaceSens, pueden instalarse posteriormente sensores adicionales. Otra aplicación del MicroProf MHU es la determinación del grosor de las capas de las películas finas, así como las pilas de capas, la medición de la altura de los escalones, las protuberancias, las vías (TSV), las zanjas, etc.