Máquina de deposición PE-CVD DLC800

Descripción general
Equipo compacto de recubrimiento DLC para la producción de pequeños lotes de recubrimientos de baja fricción y alta resistencia al desgaste. Huasheng DLC800 es una máquina compacta diseñada para la producción industrial en pequeños lotes. Combina pulverización catódica magnetrón (MS) y PECVD para depositar recubrimientos Cr/WC/a-C:H DLC con baja fricción, buena resistencia al desgaste, superficie lisa y adhesión de recubrimiento fiable.

Características clave

• Diseño de cámara compacto para reducir la huella y soportar flujos de trabajo flexibles en pequeños lotes.
• Proceso híbrido MS + PECVD para obtener películas DLC Cr/WC/a-C:H con morfología lisa y estructura de película consistente.
• Limpieza por plasma y grabado SET para mejorar la adhesión sustrato–recubrimiento.
• Control automático del proceso, componentes modulares y mantenimiento accesible para una operación simplificada.

Aspectos destacados de rendimiento

• Espesor típico de recubrimiento: 2–4 µm
• Coeficiente de fricción bajo: ≤0,1
• Dureza del recubrimiento: ≈2500 HV
• Temperatura típica de depósito: <200°C

Parámetros del producto
Modelo: DLC800
Tecnología de recubrimiento: MS + PECVD
Grabado: SET
Dimensiones: L4850 × W1600 × H2400 mm
Volumen de la cámara: 0,8 m³
Área efectiva de recubrimiento: Φ650 × 400 mm
Temperatura de depósito: <200°C
Capacidad: Bajo pedido
Peso máximo de carga: 500 kg
Diámetro del husillo: Φ170 mm
Tiempo de proceso: 6–8 h

Especificaciones técnicas

• Modelo: DLC800
• Recubrimiento: Cr/WC/a-C:H DLC (MS + PECVD)
• Espesor típico: 2–4 µm
• Coeficiente de fricción: ≤0,1
• Dureza: ≈2500 HV
• Área efectiva de recubrimiento: Φ650 × 400 mm
• Peso máximo de carga: 500 kg
• Volumen de la cámara: 0,8 m³
• Temperatura de depósito: <200°C
• Tiempo de proceso por lote: 6–8 h