Máquina de deposición CVD DA600 PRO

Descripción del producto
El equipo de recubrimiento de diamante DA600PRO crea un campo de temperatura uniforme mediante matrices paralelas de filamentos calientes y una estructura de refrigeración por agua de doble capa, lo que permite sintetizar recubrimientos de diamante ultrananocristalino, nanocristalino y micrométrico en grandes áreas y distintos espesores. El diseño del filamento reduce la tasa de fallo y mejora la estabilidad; el control de la presión de la cámara minimiza la rotura de filamentos. Una fuente de calefacción de alta potencia aumenta la capacidad de carga por lote sin afectar el rendimiento del recubrimiento. El sistema admite varios tipos de sustratos usados en herramientas y aplicaciones industriales. La variación de espesor de película para herramientas de corte se controla dentro del 15%.

Beneficios clave

• Distribución térmica uniforme mediante matrices paralelas de filamentos calientes y refrigeración por agua de doble capa.
• Funcionamiento estable de los filamentos con estructura optimizada y control de presión de cámara para reducir roturas.
• Alta capacidad por lote habilitada por una fuente de calefacción de 40 kW.
• Uniformidad de recubrimiento constante: variación de espesor dentro del 15% para herramientas de corte.
• Admite el proceso Hot-Filament CVD para una amplia gama de sustratos y herramientas.

Aplicaciones

• Herramientas de corte (incluyendo fresas y herramientas de corte para PCB)
• Grafito y materiales compuestos (CFRP)
• Sustratos cerámicos para PCB y recubrimientos conductores
• Aleaciones AlSi (Si > 12%)
• Herramientas para carpintería y piezas con eje/superficie plana

Parámetros del producto (tabla)
Modelo: DA600PRO
Área efectiva de recubrimiento: 300 × 300 mm
Tamaño interno de la cámara: 2600 × 2100 × 700 mm³
Espesor de recubrimiento: 4–30 μm
Potencia máxima de calefacción: 40 kW
Capacidad (D3): 600 unidades
Método de recubrimiento: Hot Filament CVD
Productos aplicables: Herramientas de corte PCB; recubrimientos conductores; herramientas de vástago; recubrimiento de superficie plana para plaquitas y otras piezas

Características / Especificaciones técnicas

• Modelo: DA600PRO
• Área efectiva: 300 × 300 mm
• Tamaño interno: 2600 × 2100 × 700 mm³
• Volumen de la cámara: 0,16 m³ (reportado)
• Rango de espesor: 4–30 μm
• Potencia máxima de calefacción: 40 kW
• Capacidad: 600 unidades por lote (D3); una sección también hace referencia a hasta 500 unidades
• Tecnología de recubrimiento: Hot Filament Chemical Vapor Deposition (HFCVD)
• Uniformidad de espesor para herramientas de corte: < 15%
• Sustratos adecuados: herramientas de corte, grafito, CFRP, sustratos cerámicos PCB, aleaciones AlSi (Si > 12%), herramientas para madera, plaquitas y otras piezas de superficie plana