Sistema de almacenamiento automático vertical para cajaspara placascon control constante de la temperatura y de la humedad
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Características
- Tipo
- vertical
- Aplicaciones
- para cajas, para placas
- Otras características
- con control constante de la temperatura y de la humedad
Descripción
Este sistema de almacenamiento automático es para el sistema de logística limpia de semiconductores, que almacena y clasifica la oblea FOUP, FOSB, POD y casete. Se puede implementar en varios tipos de formas tales como un tipo de cámara, tipo de bastidor y otros que se adaptan a las especificaciones requeridas de diferentes procesos de semiconductores.
Especificaciones
Limpieza ambiental: Clase1 ~ Clase1000
Velocidad: 1.5m/sec
Acc/Dec: 2,5m/seg²
Vibración: No superior a RMS 0,5 G
Purga: Purga PN2 en todo momento
Control ambiental: Humedad, temperatura, presión, concentración de oxígeno
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