Espectrómetro de masas de iones secundarias Compact SIMS

para análisisde mediciónrápido

Compact SIMS: un gran avance en el diseño para el análisis de superficies La herramienta Hiden Compact SIMS está diseñada para la caracterización rápida y sencilla de estructuras de capas, contaminación superficial e impurezas con detección sensible de iones positivos asistida por el haz de iones primarios de oxígeno y proporciona sensibilidad isotópica en toda la tabla periódica. La geometría del cañón de iones es ideal para la resolución de profundidad nanométrica y el análisis cerca de la superficie. Contaminación con silicona Películas finas Recubrimiento óptico Materiales electrónicos Célula solar flexible La herramienta Hiden Compact SIMS está diseñada para la caracterización rápida y sencilla de estructuras de capas, contaminación superficial e impurezas con detección sensible de iones positivos asistida por el haz de iones primarios de oxígeno y proporciona sensibilidad isotópica en toda la tabla periódica. La geometría del cañón de iones está optimizada para una resolución de profundidad nanométrica y un análisis cercano a la superficie. Un carrusel giratorio permite cargar simultáneamente 10 muestras para su medición en la cámara de vacío bombeada en seco. El instrumento ocupa muy poco espacio y es excepcionalmente fácil de usar. Cuenta con el mismo software de control y sistema de cañón de iones que la completa familia de estaciones de trabajo Hiden SIMS, y proporciona perfiles de profundidad, imágenes en 3D y 2D y datos espectrales de masas. El detector MAXIM-600P se basa en el filtro de masas cuadrupolar triple de 6 mm de Hiden, de gran fiabilidad, con detección de iones por impulsos. Dispone de un cañón de electrones opcional para el análisis de muestras aislantes. Además de SIMS, el Compact SIMS dispone de una función SNMS útil para la cuantificación de elementos de alta concentración, como las aleaciones.