Sistema de preparación de muestras automático

para SEM

Este dispositivo se utiliza para preparar la pieza de la oblea deseada para su análisis con STEM, TEM, etc., extrayendo una micromuestra con un haz de iones en la cámara de vacío de un sistema FIB. Unidad de micromuestreo FIB y método de micromuestreo FIB Un ejemplo de muestreo de micropilares por FIB Una muestra de micropilares que incluye un punto de análisis se recorta directamente de un dispositivo semiconductor. Las micromuestras se cortan o recortan en diversas formas variando la dirección de la FIB incidente. Un nuevo sistema de evaluación de dispositivos semiconductores consiste en un sistema FIB FB2200 y un STEM HD-2700 de 200 kV. El sistema realiza desde la búsqueda de puntos defectuosos hasta el análisis de la estructura a escala subnanométrica en varias horas.