Sistema de inspección láser NS7000 series

de superficie

Un sistema de inspección de superficies de alta precisión para sustratos y discos que incorpora una sofisticada función de clasificación de defectos mediante irradiación láser de múltiples dearing y un método de defectos inclinados de nuevo desarrollo. - Detección de defectos diminutos con alta sensibilidad mediante el método de defectos. - Inspección en el mismo cabezal mediante ópticas múltiples. - Método de reflectómetro y dispersómetro.