Sistema de inspección de placas de cristal para el control de la contaminación en la fabricación de paneles LCD y EL orgánicos de tamaño pequeño y mediano.
La tecnología patentada de Hitachi permite la detección separada de la superficie delantera y trasera en placas de cristal finas.
Su alta fiabilidad proporciona una alta sensibilidad de detección, inspección a alta velocidad y observación de contaminantes con gran aumento. Ideal para controlar la contaminación en los procesos de fabricación de paneles.
- Admite láminas de vidrio
Grosor del vidrio: 0,3 mm - 0,7 mm; tamaño máx. de la placa de vidrio: 1300 mm × 1500 mm
- Detección precisa de la separación entre las superficies delantera y trasera
Factor de separación frontal/posterior: 150 (superficie frontal: φ0,3 µm; superficie posterior: φ50,0 µm; grosor del vidrio desnudo: 0,7 mm)
- Alta sensibilidad de detección
Contaminantes superficiales φ0,3 µm
- Inspección de alta velocidad
1300 mm × 1500 mm en 90 segundos (sistema óptico de 2 cabezales, modo de alta velocidad de φ1,0 µm)
- Los contaminantes pueden verse en un monitor con gran aumento
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