Máquina de grabado en obleas por plasma M-600/6000 Series

máquina de grabado en obleas por plasma
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Características

Tipo
por plasma

Descripción

El sistema de grabado de conductores M-600/6000 Series está diseñado para el grabado profundo en zanja de silicio de dispositivos de potencia utilizados en sistemas móviles, electrodomésticos, automóviles, trenes, etc. La tecnología de grabado a baja temperatura y la tecnología de polarización TM (Time Modulation), junto con la fuente de plasma de alta densidad ECR (Electron Cyclotron Resonance), proporcionan un proceso limpio, perfiles de zanja superiores sin residuos en las paredes laterales y una excelente productividad.

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