Serie auto del sistema FDM del repuesto POCl3
El sistema de envío flúido premiado de HORIBA (serie de FDM) ha revolucionado el proceso de difusión POCl3 desarrollando un sistema para entregar automáticamente el bulto POCl3 líquido en 20 litros ETFE alineó botes de acero inoxidables a los buques plásticos fijos múltiples del pelele.
Las series de FDM y del VM se utilizan para el n-tipo capas de la difusión como dopante en célula solar silicio-basada cristalina de fabricación.
El sistema se puede también utilizar en el proceso de difusión BBr3, mejorando estabilidad de proceso, uptime cada vez mayor, reduciendo logística y seguridad del coste de la mano de obra y más alta.
Segmento: Semiconductor
División: Sistema de control flúido
Compañía de fabricación: Co. Ltd. de HORIBA STEC
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