Regulador de caudal másico GR-511Fpara gas
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Características
- Tecnología
- másico
- Fluido
- para gas
- Presión
3 bar, 4 bar
(44 psi, 58 psi)
Descripción
El GR-511F puede controlar los gases utilizados para enfriar la cara posterior de las obleas fijadas en posición mediante un sistema de mandril electrostático.
La estabilidad y precisión del GR-511F lo hacen ideal para controlar el flujo de Helio y Argón en sistemas de refrigeración de obleas.
CARACTERÍSTICAS
Control de presión con mayor estabilidad y precisión
Sensor de caudal másico (opcional)
Compatible con varios racores
Conformidad con RoHS
Ejemplo de aplicación
En el ejemplo siguiente, el GR-511F controla los gases utilizados para enfriar la cara posterior de las obleas que se fijan en posición mediante un sistema de mandril electrostático.
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